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摘要 %!X9>i> Md[M}d8 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 x4=Sm0Ro|V
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 Lfsq tQ=J` B3C%**~:e 建模任务 R;l;;dC= R&Mdw Ta  9Q /t+ 光栅特性与参数的严格分析 1r?hRJ:' vmsrypm 不同光栅周期下的衍射效率 7 3 4f &2 2>+(OL4l
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s:ZYiZ- 关于光栅周期选择的考虑 Q}6!t$Vk
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 c$P68$FB OC=g 1 通过参数优化进行光栅设计 1W r,E#+C ,7h0y 固定周期的2D参数优化 !fmbm4 !a
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 Xti.yQx\ 0fzH EL VirtualLab Fusion中的工作流程 Mz 6PH)e;
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 R8-=N +hX 6,cJ3~!48 •构造光栅结构 Ef$a&*)PH
−通过使用界面来配置光栅结构 g{^~g
[用例] )uu(I5St
•分析光栅衍射效率 =}g-N)^
−光栅级次分析器[用例] tj4/x7 !
•使用参数运行搜索初始解决方案 P W_"JZ
−参数运行文档的使用[用例] c!ieN9^+
•通过参数优化找到最终设计 T5Iz{Ha H/U.Bg 4 VirtualLab Fusion技术 bae;2| w 6T s[NXa
 />n!2'! ON9L+"vqv0 文件信息 Ggry,3X3 kvG.?^ v .*edaDi  0`V;; w8 zygH-3C7o
2]]}Xvx4# QQ：2987619807 2<9&OL
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