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摘要 e!O:z $t42?Z=N&z 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 "Bbd[ZI8 wg 6 &+F}$8, D,;6$Pvg^ 本用例展示了...... }h`ddo •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: 23[X mBf - 矩形光栅界面 C*,PH!$k - 过渡点列表界面 7e`h,e= - 锯齿光栅界面 _'DZoOH|VE - 正弦光栅界面 @
Yzj •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 Av^<_`L: YXjWk), 光栅工具箱初始化 Z?tw#n[T •初始化 d7Devs
k - 开始 ^B7C8YP 光栅 >qjV(_?F- 通用光栅光路图 y5lhmbl: e •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, :s'hXo 可直接选择特定的光路图。 *f( e`3E ?>o|H-R~5Z kv'gs+,e Cu+u'&U! 光栅结构设置 #sp8 !8|y •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 9\D 0mjn=l b_j8g{/9 •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 |F^h>^
x •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 AIa#t#8${ n"c3C)
-z$&lP] 0I@Cx{$ •例如,选择第一个界面上的堆栈。 JPfE`NZ ck4g=QpD{ 堆栈编辑器 O/2Jz •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 >On"BP# U •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 [E/}-m6g ^L;k v"a.%"oN8 gR:21*&cz 矩形光栅界面 oc3}L^aD 3teanU` •一种可能的界面是矩形光栅界面。 =C.WM*= ' •此类界面适用于简单二元结构的配置。 a2N4Jg@ •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 <E.$4/T •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 !~~j&+hK\ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 6$^dOJ_" lKF<]25 <<[hZ$. <"XDIvpc%L 矩形光栅界面 \4e6\6 + •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 -P3;7_}]:h •所选界面在视图中以红色突出显示。 Tx'ctd#Y X}gnO83 •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 y3vm+tJc{ •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 K'zG[[P Ho:X.Z9A^ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 Yi+~}YP.E( •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 !p~K;p, •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 H;OPA8\n cWA$O*A M :Aik& W=k%aB?p /Aq):T T ?hQ,'M2 矩形光栅界面参数 h8MkfHH7{ •矩形光栅界面由以下参数定义 TGJ\f - 狭缝宽度(绝对或相对) @.fyOyOC - 光栅周期 1#3 Qa{i - 调制深度 MYb^ILz H3 •可以选择设置横向移位和旋转。 HBFuA.", mTW@E#)n sC .R. mrfc.{`[
高级选项和信息 20t</lq. •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 xf.2Ig •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 UUt631 •可以设置总级次数或衰逝波级次数 q|A-h' (evanescent orders)。 3[jk}2R';p •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 cs%NsnZ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 O<x53MN^ *ppb4R;CW KrFV4J[ XTZI! •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 [[[QBplJ •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 (1vmtg.O •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 (qP !x 2j •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 n>dM OQb d.7Xvx0Yww 995^[c1o6 2rw<]Ce 过渡点列表界面 S %"7`xl •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 3o'SY@'W •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ?ExfxR!~ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 n]B)\D+V^ \4SFD3$& bz~-uHC 过渡点列表参数 QsmG(1= •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 iDO~G($C •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 y^ C;?B< Mdh(Mp(w NRKAEf_#w FVsNOU •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 B(MO!GNg= •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 Dz&4za+{ •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 \~ 'FBvAk6 )N-+,Ms `.dTkL 高级选项及信息 !qH=l-7A •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 rr4yJ;qpeP )_EobE\ $gZ|=(y&r mId{f 正弦光栅界面 8I C(( •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 -o#0Yt}3 •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 tazBZ'\c •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: #k=!>%+E - 脊的材料:基板的材料 0;TMwE - 凹槽材料:光栅前面的材料 U2ANu| 6x@-<{L ,XP9NHE N13 <!QQ 正弦光栅界面参数 vfhip"1 - 正弦光栅界面也由以下参数定义: RpLm'~N' •光栅周期 >[xQUf,p •调制深度 "_)
- 可以选择设置横向移位和旋转。 }qz58]fyx - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 4r(rWlM 7<.f&1MgI WaMn[/{ dm$:xE": 高级选项和信息 kd\yHI9A •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 `hlyN]L uR"]w7= Q)a*bPz <{-DYRiN 高级选项及信息 5o~Z> •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 vJq`l3& "Pys3=h ?qK:P 锯齿光栅界面 q>omCk%h •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 y6jTT% •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 9J]LV'f7 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: Pq4sv`q)S - 脊的材料:基板的材料 _ve7Is`/ - 凹槽材料:光栅前面的材料 ZRxB" a' ;5=pBP. <I|ryPU9{X xUrfH$$!` 锯齿光栅界面参数 b`:Eo+p •锯齿光栅界面也由以下参数定义: fCVSVn"o - 光栅周期 E_y h9lk - 调制深度 d7G'+B 1 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 \|&5eeE@ •可以选择设置横向移位和旋转。 Q'=!1^& •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 E{Q^ZSV3B v^E5'M[A |n&6z ?)PcYrV 高级选项和信息 er<~dqZ}] •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 d~_OWCg` ):[[Ch_ 探测器位置的注释 V?rI,'F>N 关于探测器位置的注释 <n`|zQ •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 \m.{^Xd~ •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 qzyQ2a_p •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 E|fPI u •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 PHOW,8)dZh •可以避免这些干涉效应的不良影响。 <St`"H rj5:YQEH; k4l72 'P 文件信息 7vWB=r>5@ PRUGUHY Gce_gZH7{ [lJ[kr*7 @rdC/=Y[ QQ:2987619807 9(I4x]`
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