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摘要
&qdhxc4 P33xt~ 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 $57b.+2n hchG\i B1!xr-kC m#8PX$_ 本用例展示了...... K y%lu^ •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: J+E,Ui ZU - 矩形光栅界面 O8bxd6xb - 过渡点列表界面 OrM1eP"I - 锯齿光栅界面 M:}u| - 正弦光栅界面 2 HQ3G~U •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 B T"R"w qT(6T P 光栅工具箱初始化 h,m 90Hd+ •初始化 37jxl+ - 开始 0] 光栅 Z#H<+S( 通用光栅光路图 77)WNL/
x •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, \298SH(!7 可直接选择特定的光路图。 /IRXk[ W!? h2[ NvJ5[W \z0HHCn'" 光栅结构设置 Wj(#!\ 7F •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 qJdlZW< Is7BJf •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 <R@,wzK •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 edq,: rjK`t_(= K$M+"#./ _i+@HXR & •例如,选择第一个界面上的堆栈。 s b;q)Rh }Rw ,4 堆栈编辑器 /v+)#[]> •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 W/ Q*NB •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 gk%@& TB/ 1Q>nS[ GcdJf/k DaQl ip 矩形光栅界面 z2uL[deN'" I}
jgz •一种可能的界面是矩形光栅界面。 MY@&^71i4 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 }LT&BNZj •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 Xv-p7$?f •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 Y/FPkH4 •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
L\PmT c[,h|~K/_? T[bC Y 6 ">oySo.B? 矩形光栅界面 O1z]d3x
•请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 E7MSoBX9M •所选界面在视图中以红色突出显示。 Tf86CH=)5 W}CM;~*L •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 ;2<5^hgk •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 IA@>'O tR|dnC4U •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 Ku75YFO,5 •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 4a-JC" •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 I x%>aee pUXoSnIq: H;1@]|sH# @b,Az{EH 3#>W\_FY*D -r={P_E6 矩形光栅界面参数 J ay" •矩形光栅界面由以下参数定义 !@=S,Vc. - 狭缝宽度(绝对或相对) ef7{D
P - 光栅周期 SeD}H=,@ - 调制深度 &<PIm •可以选择设置横向移位和旋转。 N,Eap KG $^ws#}j K*>%,mP$i I,{YxY[$7 高级选项和信息 XMrk2]_ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 f4"UI-8;n •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 .:$(o& •可以设置总级次数或衰逝波级次数 Ktq 4b%{ (evanescent orders)。 h1w({<q*ov •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 K92j BR •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 51jgx,-|$ s?w2^<P 9n&
&`r ~L)~p%rbi •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 ("9bV8:@B •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 h'y%TOob •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 MiT0!6Pg •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 'ToE Y3 0gd`W{YP SMEl'y 0MW W(
; 过渡点列表界面 Eomfa:WL •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 t6DSZ^Zq •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 #-0e0 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 Xz_WFLq4 Bf utmI *N">93: 过渡点列表参数 _U s" •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 p
F-Lz<V •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 Z0,jg)sA4 x-BU$bx5 o(*\MTt? 2S?7j[@%i` •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 vO}r(kNJ •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 %{u@{uG0'3 •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 F9fLJol $.PRav e\%,\uV} K:,V>DL 高级选项及信息 (` *BZ_ •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 \|HEe{nA #Rw!a#CX. wQhNQ(H~\ AV5={KK 正弦光栅界面 p='j/= •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 \ruQx)5M •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 Xw?DN*`L •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: ]o6ZZK - 脊的材料:基板的材料 W$4$%r8 - 凹槽材料:光栅前面的材料 J p'^! yf&g\ke )DgXsT Ku(YTXtK 正弦光栅界面参数 `YNzcn0x - 正弦光栅界面也由以下参数定义: 2"IV •光栅周期 e?> •调制深度 bMO^}qR` - 可以选择设置横向移位和旋转。 HpnF,4A> - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 l_g$6\&| IW~R{ ]6 s<I)THC $vs],C"pX 高级选项和信息 Na0^csPm •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 +_5*4>MC lw@Yn>eza aU!}j'5Q s scbf 高级选项及信息 ~KK}
$iM •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 =7 l
uV_5 3#7V1 htBA.eQ 锯齿光栅界面 7^gO>2~ •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 JipNI8\r •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 Z/Rp?Jz\j/ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: IiPX`V>RC - 脊的材料:基板的材料 -CvmZ:n - 凹槽材料:光栅前面的材料 c8uaZvfW z !K2UTX [JOa^U= M':-f3aT% 锯齿光栅界面参数 ~+Wx\:TT •锯齿光栅界面也由以下参数定义: 4 &bmt - 光栅周期 wm5&5F4: - 调制深度 WVP?Ie8 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 f_~T •可以选择设置横向移位和旋转。 YVIE v •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 (\6E.Z# JwG(WLb: K[T0);hZR _XZ
Gj:V 高级选项和信息 hek+zloB+ •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 *AH`ob} 9g6$"',H 探测器位置的注释 v "l).G? 关于探测器位置的注释 2S8;=x}/ •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 FLmD?nw •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 W@R7CQE@ •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 @)pC3Vi^ •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 +hRy{Ps/ •可以避免这些干涉效应的不良影响。 pwo$qs(p f^pBXz9&= k4{!h?h 文件信息 xlv(PVdn ZF>:m> |lNp0b ,^9+G"H:I *7AB0y0k QQ:2987619807 aO{@.
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