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摘要 L8 L1_ |RFBhB/u 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 C,An\lsT PD)"od ^Jp,& 7p{Pmq[ 1. 建模任务 v8)"skVnFG 7~ PL8 DMM<,1 b,Oh8O;> 2. 结果 qx t0Jr8 Iko]c_W0 ]K"&Vd 1@DC#2hPr u.|Z3=?VG 6RnzT d 3. 文件和技术信息 qOwql(vX L5-|-PP|; X H-_tvB Ks-$:~?5": WwDM^}e QQ:2987619807 r3W3;L
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