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摘要 ].sD#~L_ Ai)>ot 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 sp+'c;a ?f6SKC *9|p}q9n q>wO=qWx 1. 建模任务 VVcli* K_k'#j~*? }R%*J hj{)6dBX% 2. 结果 Wf-XH|j[ JSID@
n<b? lM#,i\8Q ,v`03?8l( `TH\0/eE X&i;WI 3. 文件和技术信息 Zrj#4E1 a8-V` ia-ht>F*; lr?SL\D FHEP/T\5 QQ:2987619807 ]{|lGtK %
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