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摘要 ~6fRS2u _pW'n=}R 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 8"pA9Mr Wlxk :9O|l)N)W= 1. 建模任务 tpz=}q OMxxI 6h 2. 干涉条纹的变化 X?_v+'G s3y}Yg @s?oJpo 3. VirtualLab Fusion概览 SFOQM*H tdb4?^.s b`?M9f5 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 )rS^F<C 设置输入场 @hBx,`H^ - Basic Source Models [教程视频] MSFNw 定义组件的位置和方向 ~EPjZ3 ? - Basic Source Models [教程视频] ;p .j 正确设置通道以进行非顺序跟踪 @]yQJuXA&Z - Basic Source Models [使用案例] >d)|r 使用参数运行检查影响/变化 1URT2$2p - Usage of the Parameter Run Document [用例] [ y$j9 @)06\h DvU~%%(0^ bv_AJ4gS 5. VirtualLab Fusion 技术 =I{S;md cRPr9LfD@ 'fXer!L} 6. 文件和技术信息 Vc{/o=1u 8F.(]@NY Psg +\ 14
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