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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Ku5\]  
     3q\,$*D.  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 P-yjN  
     q_A!'sm@)  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 Z`ID+  
     / F4zg3  
    所需工具箱子：光栅工具箱 MOQ*]fV:  
     dxMOn  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 R;uvkg[o  
     >UiYL}'br6  
    建模任务 N4F.Y"R$(  
    cPyE 6\lN  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 9PXFRxGA  
    =Y|VgV  
    Ezc?#<+7  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 Ug>~Rq]  
     ?PeJlpYzV  
    Lt?lv2k=L  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 4xjPiHd<  
     nP$Ky1y G  
    ZxGJzakB5$  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     C~,a!qY  
    5F)C  jQ  
    +" .X )avF  
    %*A0# F  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 A5c%SCq;  
    N{9v1`B  
    il4^zj82  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 <J< {l  
    #A1%gIw<v2  
    y-'$(x  
    X线偏振光模拟结果：
    +h|`/ &,  
    3% #3iZ=_  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ? uzRhC_)!  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 )WNzWUfn=z  
    Q{sH3Y#l  
    o[Q MTP  
    Y线偏光模拟结果 3 oF45`3FV  
    ! `   
    Ta ZmRL  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 '.IW.{;$  
    结论： s Ep"D+f  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 ` 06;   
    QQ：2284816954 备注：光学     K -nF lPm\  
     
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