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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 T4V[R N  
    4/*]`  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 3q'K5} _  
    pj!k|F9  
    ^z[_U}N\}  
     Nb gp_:{  
    建模任务 fl!mYCPv  
    IL!BPFG w  
    1zdYBb6;j  
    概述 h=X7,2/<  
    fdd~e52f  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ! a86iHU  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *Zc9yZl2  
    qsI{ b<n  
     a^@+%?X  
    c}YJqhk0J  
    光线追迹仿真 DY$yiOH9  
    BfX%|CWh  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {\P?/U6~f  
    •单击go！ gBMta+<fE~  
    •获得了3D光线追迹结果。 RI?NB6U  
    RwUW;hU  
     <MRC%!.  
    !$xzA X,  
    光线追迹仿真 7TP$  
    Q{O/xLf  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 mG X\wta  
    •单击go！ 8a7YHUL<3i  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 $H4=QVj6  
    FSv1X  
     k9cK b f@  
    VZ;@S3TS  
    场追迹仿真 HTw#U2A;+  
    A5+q^t}  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #sL/y  
    •单击go！ Yi[4DfA  
    8:~b &>   
    u]R$]&<  
     rYbCOazr  
    场追迹仿真（相机探测器） :sFo  
    P7'M],!9w  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 hRk,vB ]  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 "8FSA`>=  
    T=.-Cl1A  
     iEe#aO"D!  
    Bf/ |{@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） nYhp`!W4;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a`s/qi  
    &u("|O)w$  
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    场追迹仿真（电磁场探测器）  C[R`Ml  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p x0Sy|  
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    更多阅读 (m/aV  
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    QQ：2987619807 Hxn<(gd G  
     
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