切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 光学手册（上、下册，李景镇） 近代光学系统设计概论 Zemax光学设计从入门到精通(中文版) 现代光学基础（第2版 钟锡华）
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 867阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    技术专家
     
    发帖
    4669
    光币
    17721
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 d2Bn`VI  
    =2# C{u.  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Ju Kj  
    9["yL{IPe  
    rQ LNo,  
     ~"iCx+pr  
    建模任务 }r9f}yX9Q  
    &CG3_s<2  
    esWgYAc3{  
    概述 7{2knm^  
    vH9/}w2  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 >n{(2bcFs  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 /m(vIl  
    eZk [6H  
     X2/ `EN\  
    KzG8K 6wZ  
    光线追迹仿真 /k l0(='  
    p (:\)HP)R  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Q9]7.^l  
    •单击go！ VrrCW/ o  
    •获得了3D光线追迹结果。 : DCj2"  
    m&EwX ^1-  
     0,{Dw9W:  
    HFB2ep7N  
    光线追迹仿真 Zm4IN3FGLv  
    ?S36)oZzg  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 gQCkoQi:j  
    •单击go！ i\ X Ok!  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 uL1e?  
    3W5|Y@0  
     % Lhpj[C  
    GTyS8`5E*  
    场追迹仿真 1.4]T, `  
    { %vX/Ek  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 -yy&q9  
    •单击go！ ?sfA/9"  
    Eo!1 WRruF  
    TwqyQ49  
     4w}\2&=  
    场追迹仿真（相机探测器） "@;q! B.qo  
    )0 .gW  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 MMN2X xS  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @(,k%84z  
    hCD0Zel  
     ?54=TA|5`F  
    #KF:(2  
    场追迹仿真（电磁场探测器） kOmTji7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 wm}6$n?Za  
    TxoMCN?7c  
    H 0aDWFWS  
     ]8NNxaE3(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &.y:QVR,!  
     5?&k? v@  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 bc}U &X<  
    Xp[[ xV|  
     ; =ai]AYW  
    ;]D@KxO$dJ  
    文件信息 W/<]mm~95  
     Jx9S@L`  
     ^/47 *vcN5  
    >_!pg<{,  
    更多阅读 bae .?+0[  
    5)+(McJC  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer mT <4@RrB  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     WO?EzQ ?  
    ,B(UkPGT  
     f ?_YdVZ  
    QQ：2987619807 iNUisl  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表