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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 0W#.$X5  
     ;z!~-ByzL  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 p}N'>+@=  
     W>'R<IY4#N  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 (iH5F9WO  
     Z5_MSPm  
    所需工具箱子：光栅工具箱 @~/LsYA:  
     E9QNx6 2  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 /\h&t6B1  
     lLo FM  
    建模任务 }4\>q$8'  
    #>[+6y]U!  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 qDOx5.d  
    v:<u0B-)$  
    UP%X`  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 Va?wG3w  
     8V.x%T  
    J1&G1\G|s=  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 '0z@Jevd?  
     P#"vlNa  
    z&9vKF  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     MhHygZT[}  
    ]`]m41+w  
    m3K8hL/  
    .,UpI|b  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 hZ5h(CQ?"#  
    &\`=}hB  
    &PgbFy  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 3x.|g   
    zd"o #(sv  
    .u)Po;e`  
    X线偏振光模拟结果：
    jja9:$#  
    :8jHN_u  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 o1-Zh!*a*  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 315Rk!{AJ  
    B?$pIG^Mn  
    cPkN)+K  
    Y线偏光模拟结果 K%$%9y  
    "{ AS5jw  
    ES<"YF  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 2y v'DS  
    结论： HmAA?J}  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 qGr(MDLc  
    QQ：2284816954 备注：光学     WwPfz<I  
     
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