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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 A3rPt&<a  
    9!f/aI  
    任务说明 ICuF %  
    #%`|~%`{:  
    ~Cl){8o  
    `k OD[*  
    灵活地导出制造数据： 2]I4M[|&z  
    - 平滑的界面 xgABpikC^  
    - 量化界面 ,%n\=  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 i#7DR>XF/  
      gG uZ8:f  
    亮点 -c(F1l  
     导出各种表面形状的制造数据 2uG0/7  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ?bPRxR  
         $>*3/H  
    MJ7Y#<u  
    一般界面的制造数据 x6(~;J  
    EzDk}uKY0R  
    z8{a(nKP  
    \x)n>{3C  
    支持文件格式： dODt(J}%  
    - 纯文本 F\fWvXdW  
    - ASCII码 6726ac{xz  
    - 点云 W;_nK4$%'  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） SPN5dE.@  
     aT_&x@x  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 9!T[Z/}T  
    NXwz$}}Pp  
    采样高度剖面的STL导出 %R@X>2l/_  
    Lk~ho?^`  
    , 3,gG "  
    6WV\}d:  
    量化界面的GDSII导出 =jSb'Vu|  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 =.y~fA!  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 xB_!>SqF1U  
    UQ'\7OS  
    +lJG(Qd  
    文档和技术信息 dA@'b5N{"  
    Ge,;8N88  
    gfsI6/Y  
    PC用于模拟的规格 ld3-C55  
    $"0MU  
    m0LTx\w!  
    QQ：2987619807
     
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