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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅 vP@v.6gS,  
    "& Dx=Yf  
    任务/系统说明 B\*@krI@  
    &5{xXWJK  
    . v@>JZC  
    lOwS&4UT  
    亮点 S\6[EQ65  
    {+<P:jbz;  
    Si 9Z>MR  
    Z+`{7G?4m  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) +|Hioq* ,t  
     严格分析光栅衍射效率 'D1A}X  
     考虑入射光的方向分布 ;< )~Y-  
    gkBdR +  
    说明:光源 w6dFb6~R  
    [ =x s4=  
    yV3^Qtb!  
    (R~]|?:wt  
    说明:光束分束器 8n BL\{'B[  
    0Z<I%<8bK  
    {K{EOB_u  
    Lj\/Ji_  
    说明:检测透镜系统 X2mREt9  
    l+][V'zL  
    _qqr5NU  
    lDC$F N  
    说明:微型晶片 K-<^ $VWh  
    +`M!D }!  
    R .[Z]-X  
    ,6 !rR,0  
    说明:检测物镜 d8SE,A&  
    ;g_> ;tR/  
    GSoZx0  
    l:6,QaT1  
    说明:探测器 0,s$T2  
    ' /Bidb?  
    m]_FQWfet  
    \? j E#^  
    结果:3D光线追迹(只有0级) o[ENp'r  
    iz(u=/*\  
    ``,k5!a66\  
    MF6 0-VE  
    结果:3D光线追迹(所有级) z)XRx:YU;$  
    G iq=*D+  
    DcIvhBp  
    Glq85S  
    结果:光线追迹 kY,U8a3!  
    }7G8|54t  
    p2J|Hl|  
    #zrTY9m7  
    结果:场追迹 Z34Wbun4  
    M'`;{^<  
    O9'x -A%  
    6~#Ih)K  
    结果:线性偏振光的场追迹 PN~@  
    ! / y!QXj  
    M@P 1,Y  
     %d Ernc$  
    文档和技术信息 GEjd7s]C  
    FLoNE>q  
    04J}UE]Ww  
    sC00un%  
    2M)]!lYy  
    QQ:2987619807 #U=X NU}k  
     
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