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摘要 2^aTW`>L `4qKQJw 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 ao!r6:&v$e (r4\dp& SJ-Sac58r ,L;vN6~ 建模任务 -G 'lyH u|c+w)a QFYy$T+W 5PPpX =\ 结果 :6+~"7T 7w*&Yg] z"#.o^5 nmGHJb,$ 文件信息 hz%IxI9 +q$|6? as4NvZ@+r fLAF/#\2 (Nahtx!/9 QQ:2987619807 ?s]`G'=>V`
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