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摘要 E+dr\Xhv )+RGXVp 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 Q5;Km1( 9j49#wG0"B F&lWO!4 7Nh6 ` 1. 建模任务 zbddn4bW9 E$ q/4 Y{1IRP?S |n=m8X 2. 结果 Z=z'j8z3 Za jQ B IJD'0/R'c REW
*6: ~kS~v 58mzh82+ 3. 文件和技术信息 j()_
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