摘要
6Y2,fW8i, $+PioSq /K!)}f(6 w5z]=dN 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
`&NFl'l1C SLuQv?R}9 设计任务
_ %mm c&T5C,] ;,-)Z|W u8 k^\Do 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
bpsyO>lx/ dFg&|Lp 扫描参数空间以获取初始解
^U~Er'mT
U>t:*SNC* DSs/D1mj&
\zJ^XpC 初始解#1的参数优化
rX$-K\4W |6NvByc, 5V<6_o X)SUFhP\ 最终设计#1的性能分析
KdR\a&[MA <@`K^g;W I&|8
qx# u&p8S#e 初始解#2的参数优化
PE7V1U#$o, _$*-?*V& jEKa9rt 07^.Z[(pCt 最终设计#1的性能分析
T\wOGaCW 4oF,;o+v\4 R@WW@ Of ruqE]Hx9( VirtualLab Fusion一瞥
vasw@Uto) '_g&!zi8~ crd|r." AkjoD7.* VirtualLab Fusion中的工作流程
&/EZn xl I-.?qcy~ 构建
光栅结构
:8n?G ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
!5+9~/; ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
^ &KH|qRrO 分析光栅
衍射效率
~i^,Z&X: ─ Grating Order Analyzer
mp3 Dc 使用参数运算寻找初始解
N0fE*xo ─ Usage of the Parameter Run Document
j5Yli6r?3- 使用参数优化确定最终解
p"\-iY] Y\!:/h]E& VirtualLab Fusion技术
PmId #2f ;F_&h#D]3 Ahd{f! zh !/24p9 文件信息
o\j<EQb. 5NSXSR9c P)TeF1~T 5}NO~Xd< QQ:2987619807
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