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摘要 mKLWz1GZ uovSe4q5q 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 k 5|GN Y6a
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 y:Ag mr,S },;Z<( VirtualLab Fusion中的工作流程 DB0? H+8t ~i]4~bkH2 构建光栅结构 >x]ir
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Q]]M;(
−倾斜光栅高级设定[用例] 4WPco"xH!
•光栅衍射效率分析 z2jS(N?J 1
−光栅阶序分析器[用例] KuF>2KX~Y
•使用参数优化进行光栅参数优化 [sK'jQo-[1
•使用参数运行的容差分析 Rl
( +TE TCK#bJ  :|-^et]a8 \0)2 u[7
VirtualLab Fusion技术 x= N0H
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 \1e WI J&L#^f *d 文件信息 )"g @"LJ= As??_=>4
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mj ,Oy QQ：2987619807 keJ-ohv)
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