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摘要 bBx.snBK g/*x;d= /"~ D(bw0= )q.Z}_,)@ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 N=2BrKb)o ( I<]@7> 建模任务 %62W[Oh5 iJ8 5okv' ]lBe ^Rel-=Z$B 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Vgh;w-a 7!-3jU@m Sf_q;Ws f+}Rj0A 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 XsH(8-n0 33R1<dRk {c
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