1. 摘要
('7$K ;N?(R\*8 高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
'(rD8 pc #>("(euXMF ^3BPOK[*gB / Ws>;0 2. 建模任务
HE-5e):
k '~Cn+xf4] }x\#ul) Rx&O}>"E>l 3. 概述
Y|><Ls6Q IH dA2d?.] 示例
系统包含了高
数值孔径物镜 %jy$4qAf% 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
fs 2MYat :`zO%h P*BRebL: \OtreYi 4. 光线追迹仿真
D<d,9 S,) J)Y`G4l2@ 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
D\&S { 点击“Go!”。
babL.Ua8o 随即获得3D光线追迹结果
8
E\zjT!#\ MGsQF #6] k:Y\i]#yP A~PR 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。
Z! O4hA4 点击“Go!”。
&{.IUg 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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.)b<cH~% 5. 场追迹仿真
dT*Yv`h Kh\ 7%>K# 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
'wk,t^) 点击“Go!”。
{73V?#P4 B#S8j18M p?y2j `^SRg_rH=` 6. 场追迹结果(相机探测器)
/RJ ?d-w#<AiV H_$?b 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
1OMXg=Y 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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-luE 7. 场追迹结果(电磁场探测器)
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|I=P 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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文件信息
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