摘要
W~k!qy ` /N%f78
Z 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
|@nvg>mu CG9X3%xO% lha)' NH'RU`U) 建模任务
6xL=JSi~ ?%Y?z]L# q'(WIv@ 光栅特性与参数的严格分析
HC{|D>x. A</[Q>8 不同光栅周期下的衍射效率
8.pz?{**T +8^9:w0} Sa,N1r pDkT_6Q 关于光栅周期选择的考虑
|~\K:[T& ,;+\!'lS $+Pv
fQ #0`"gR#+ 偏振相关的衍射特性
1.,mNY^UN Ysr{1! K e_1mO 5z ]3={o3[: M8[YW|VkP "[[fQpe4@ @0
-B&w m6;Xo}^w 通过参数优化进行光栅设计
m/eGnv;! 5?O/Aub 固定周期的2D参数优化
Vj2GK"$v =rBFMTllM ,xTbt4J 2D参数优化–设计1
#Ejly2C, vhL&az 5)nv NWAF4i&$ 2D参数优化–设计2
DGd&x^C Y43#]; B8_l+dXO a^=4'.ok 制造
公差分析–设计2
(|[3/_!;v pM46I" 5z]dA~;*2 [CUJ A 变化光栅周期的3D参数优化
rqF PUp /6q/`vx@ g$ 2M|Q &)X<yd0 制造公差分析
cw5YjQ8 9 `PW=_f={ z=K5~nU 3?O|X+$p 走进VirtualLab Fusion
<oXsn.'\ J,D{dYLDD j2P|cBXu ;9I#>u VirtualLab Fusion中的工作流程
L3GJq{t 3?%kawO& z9+94<J &(rd{j/* •构造光栅
结构 ^LNc −
通过使用界面来配置光栅结构 WuNu}Ibl}m [用例]
^=W&p%Y(! •分析光栅衍射效率
CYn}wkz −
光栅级次分析器[用例]
b@X@5SJFW •使用参数运行搜索初始解决方案
(mD]}{> −
参数运行文档的使用[用例]
%om7h$D=` •通过参数优化找到最终设计
B_&PK7vA s Y6'y'a95 VirtualLab Fusion技术
0*AlLwO s{,e^T F0JFx$AoD E^YbyJ=1 文件信息
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RFf" AFFLnLA<L (来源:讯技光电)