摘要
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V.S.'
q_<*esZ, 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
AI1@- +cz"`T`X 2 _M8G3QOx 6=ZRn gQ 建模任务
{S5RK-ax 5h`m]#YEG >I$B= 光栅特性与参数的严格分析
BFBR/d[& Sm$p\ORa 不同光栅周期下的衍射效率
0JmFQ^g( 9#v-2QY Mw/?wtW JB&G~7Q85 关于光栅周期选择的考虑
uQH%.A OENzG~ R'rTE %lN2n,AK 偏振相关的衍射特性
8O,?|c=>
+"jl(5Q }1 $h xfb Fj
S%n$ ToV6lS" r]v&t lK0s=4c{ zJ5hvDmC 通过参数优化进行光栅设计
*P`v^& ]fj- `== 固定周期的2D参数优化
d^PD#&"g u^Vh.g] ;(7-WnU8N 2D参数优化–设计1
hi!`9k %;7.9% `ruNA>M @dl8(ILk' 2D参数优化–设计2
TXjloGv^ 3)3Hck
uVGa(4u} b^x07lO 制造
公差分析–设计2
C ZJV_0 u^=`%) 3+ =I;nj PnA?+u2m 变化光栅周期的3D参数优化
KVN"XqE4 Zsj`F9*e z<B CLP G(/DtY] 制造公差分析
8YX)0i' _7"5wB?|+ qM",( Bh d]SYP 走进VirtualLab Fusion
$'{=R 45Z SJk>Jt= 8md*wEjk &eQJfc\a VirtualLab Fusion中的工作流程
XN;&qR^j z)-c#F@% 6B" egYv
)h_8vO2 •构造光栅
结构 <jA105U"m> −
通过使用界面来配置光栅结构 eGL<vX [用例]
wRvb8F0 •分析光栅衍射效率
Y@uh[aS! −
光栅级次分析器[用例]
H:QhrL+7_ •使用参数运行搜索初始解决方案
F #`=oM$5 −
参数运行文档的使用[用例]
=qu(~]2( •通过参数优化找到最终设计
[f/I2 swcd&~9r VirtualLab Fusion技术
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