摘要
UZ:z|a3 当用近轴光
照明时,亚
波长光栅仅产生一个
衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光
透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以
模拟这样的
成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。
kD((1v*D$ :C&6M79k \t=#MzjR PHH,vO[eO 1. 建模任务
yi -0CHo S]&aDg1y} ClPE_Cfw~ DW)81*~g 2. 结果
C_h$$G{S( ;j<#VS-] <e@4;Z(h04 .rl Lt5b% $KoGh_h g/w<T+v 3.
文件和技术信息
4i"fHVp8 =&: |a$C S.U#lAn( x-q_sZ^8 (来源:讯技光电)