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摘要 }z_7?dn/ g;!,2,De} 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 j6BFh=?D nY_+V{F JPkI+0 ]]|vQA^ 设计任务 {(^%2dk83C ?yAjxoE~? E^t}p[s 6g'+1%O 1级参数优化 >~\CiV4^ r'& 6P-Vm I=}R
Z9 r~T3Ieb 结果-容差分析 0/zgjT|fe R TeG\U Y !AQ7F \rmge4`4 结果-容差分析 yUu+68Z6 jLreN#:9 M l9 /7Ft1f VirtualLab Fusion一瞥 cy#N(S[ 1 z229:L6" hB-<GGcO < j'|`:^
Sy VirtualLab Fusion中的工作流程 \m1jV>q x-@6U 构建光栅结构 $|}PL[aA# −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Vc|uQ8Mi −倾斜光栅高级设定[用例] `r. •光栅衍射效率分析 L@8C t −光栅阶序分析器[用例] |%5nV=&\ •使用参数优化进行光栅参数优化 M7SVD[7~HM •使用参数运行的容差分析 `i3fC&?C 7|q _JdKoU u
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90* VirtualLab Fusion技术 w}``2djR'W '@eH)wh@m) w1
tg7^(@ pn4~?Aua0/ 文件信息 gD/% l[ D^\2a;[AxA ,SSq4 g=x1}nm 2~2j?\AEd. QQ:2987619807 W1p5F\ wt
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