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摘要 <b>g^ `}?D FW=`Fm@z%% 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 "WF@T }+]
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 ^]n:/kZ5"[ X\Gbs=sf6 建模任务 a *2JLK -_[ZRf?^ 0Ba*"/U]t~ 仿真干涉条纹 'LX]/ D 4(nwi[1Y }z,f8Yz 走进VirtualLab Fusion XU5GmGu_+ (ay((|)  [ikW3 '99, [x[ nTIg VirtualLab Fusion中的工作流程 3sD/4 ? Qo\+FkhYq •设置输入场 ,II-:&H
−基本光源模型[教程视频] Bcl6n@{2f
•使用导入的数据自定义表面轮廓 [6cF#_)*
•定义元件的位置和方向 \ p.eY) >
− LPD II：位置和方向[教程视频] JavSR1_
•正确设置通道以进行非序列追迹 CpLLsp hy
−非序列追迹的通道设置[用例] s:zz 8oN
•使用参数运行检查影响/变化 sD=iHO
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−参数运行文档的使用[用例] 1c4@qQyo
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