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摘要 ( n{w g(R q~K(]Ya/ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 a?5[ k}\
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 K2_Qu't0$ .o{0+fC# •构造光栅结构 hi =XYC,
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−光栅级次分析器[用例] M
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•使用参数运行搜索初始解决方案 % u{W7
−参数运行文档的使用[用例] USJ- e
•通过参数优化找到最终设计 pfuW gv15t' y9 VirtualLab Fusion技术 -php6$| UAS@R`?cI
 T4e\0.If B=L&bx 文件信息 Q }k.JS~# =Yo1v=wxN {X]R-1>  ~i'Nqe_ $V>98M>j
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