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摘要 d\r-)VWSr" !mUO/6Q hq 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 pB7^l|\]
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 NnaO!QW% wNmC 1HOh 结果-容差分析 d;{k,rP6
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 !t\sg F 6C7k9 VirtualLab Fusion一瞥 zU_ dk'&,
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 c6SX z%'k [8K :ml VirtualLab Fusion中的工作流程 ]ZNFrpq zMd><U QP{ 构建光栅结构
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−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] E0+~c1P-
−倾斜光栅高级设定[用例] 0?O_]SD
•光栅衍射效率分析 oe!4ng[
−光栅阶序分析器[用例] 7OS i2
•使用参数优化进行光栅参数优化 Jm"W+! E
•使用参数运行的容差分析 d1'= \PYr *p9 k> )'J  !T
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VirtualLab Fusion技术 7nP{a"4_
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 7xYz9r)w` G\^<MR | 文件信息 WZh_z^rwn
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