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    • 光学手册（上、下册，李景镇） 光学元件微纳制造与精密检测技术 京东6.18购物红包，每天领三次！ 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 RDUT3H6~  
    9U#\nXM  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 vC)"*wYB{  
    a$C2}  
    hMNJ'i}  
     y=[gQJ6~r  
    建模任务 C:]/8l  
    W*YxBn4  
    _R EqT  
    概述 yJDeX1+,  
    EfFz7j&X  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8<YX7e  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Iq)(UfaSve  
    cwk+#ur  
     "Z;~Y=hC13  
    +J"'  'cZ  
    光线追迹仿真 By2s']bw  
    IZO@V1-m  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (V$Zc0  
    •单击go！ K@q&HV"'.  
    •获得了3D光线追迹结果。 MMMqG`Px  
    bAdiA2VF'  
     fZ[kh{|  
    Vd,'  s  
    光线追迹仿真 0z<H(|  
    Dt W*n1Bt  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 LyGUvi  
    •单击go！ ]53O}sH>  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 wAw42{M  
    ):3MYSqX  
     B9YsA?hg  
    cI2Fpf`2Wj  
    场追迹仿真 !6M Bxg>  
    X` ATH^S  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5B1G?`]?  
    •单击go！ J5;5-:N  
    {{32jU7<  
    K]X` sH:  
     fb23J|"  
    场追迹仿真（相机探测器） Gu5~ DyT`G  
    /-Wuq`P/ T  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _l<mu?"  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 cA<<& C  
    rOW;yJ[  
     }g>kpa0c  
    {-HDkG' 8  
    场追迹仿真（电磁场探测器） f e|g3>/|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6JSY56v  
    7Re-5vz R  
    T tPr)F|  
     I FsE!oDs4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） b vRB  
     \b$<J.3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J_PH7Z*=,  
    %%&e"&7HE  
     1SUzzlRx  
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    文件信息 +oZH?N4yaM  
    jJia.#.Ze  
     *hF^fxLbl  
    =p q:m  
     b,Ke>.m  
    QQ：2987619807 xdZ<| vMR  
     
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