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摘要 s*<T'0&w0S rVl 8?uy s8>y&b. ]S[?tn 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 {tY1$}R U$& '> %# 建模任务 -bHlFNRm Abt<23$h sVw:d_ E 'o#oRK{# 由于组件倾斜引起的干涉条纹 9*ZlNZ
yxp,)os: lMvOYv d8w3Oz54 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 TaBya0- "YgpgW "}*D,[C5e In96H` 文件信息 j0; ~2W#G* PD0&ep1h7G bkDVW +?o!"SJ 9Sxr9FLW~ QQ:2987619807 b3E1S+\=~
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