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    [分享]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-17
    案例87.01:粗糙表面光栅模拟 { rn~D5R  
    h--bN*}H2  
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 cfS]C_6d  
    V'/%)oU\"  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 \s'6)_  
    >WX'oP(<  
    要求工具箱:光栅工具箱 v4aGL<SO  
    Z Uv_u6aD  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 rID]!7~  
    p2^OQK  
    一、模拟任务 rzLl M  
    二、光栅的描述 nQ~L.V  
    U$ bM:d  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 cn:VEF:l  
    g\'84:*J\  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 92Iv'(1ba  
    PX)qA =4q  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 LL+rd xJO^  
    kGP?Jx\PkH  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” 8t!"K_Mkx  
     t m?  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 IRa*}MJe  
    cgOoQP/#  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 :Ej)A fS  
    .Oh$sma1  
    ;7>--_?=  
    +i =78  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm &ii =$4"R  
    -X \v B  
    Nl _Jp:8s  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm zu%pr95U  
    * =l9gv&  
    [^f`D%8o  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm 6}$cDk`dz  
    [bXZPIz;j  
    LlJvuQ 28  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm dX=^>9hN/  
    9nE%r\H  
    ^*OA%wg3=h  
    5. 参数运行 add-]2`  
    0 CS_-  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 jBbc$|O4SY  
    _guY%2% yR  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 :e;fs.C  
    J4i0+u  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 sJWwkR  
    ~-/AKaK}  
    aXagiz\;  
    e|P60cd /  
    7. 总结 PdZSXP4;k  
    _?"J.i  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 {ex]_V>  
    {PKER$C  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 T5h[{J^  
    b+>godTi_  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 3'wBX  
    g d-fJ._1  
    hGeRM4zVZZ  
    QQ:2987619807 Fwr,e;Z  
     
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