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案例87.01:粗糙表面光栅的模拟 { rn~D5R h--bN*}H2 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 cfS]C_6d V'/%)oU\" 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 \s'6)_ >WX'oP(< 要求工具箱:光栅工具箱 v4aGL<SO Z Uv_u6aD 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 rID]!7~ p2^OQK 一、模拟任务: rzLlM 二、光栅的描述 nQ~L.V U$bM:d 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 cn:VEF:l g\'84:*J\ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 92Iv'(1ba PX)qA=4q 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 LL+rdxJO^ kGP?Jx\PkH 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” 8t!"K_Mkx tm? 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 IRa*}MJe cgOoQP/# 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 :Ej)AfS
.Oh$sma1 ;7>--_?= +i =78 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm &ii
=$4"R -X
\vB Nl _Jp:8s 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm zu%pr95U *
=l9gv& [^f`D%8o 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm 6}$cDk`dz [bXZPIz;j LlJvuQ 28 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm dX=^>9hN/ 9nE%r\H ^*OA%wg3=h 5. 参数运行 add-]2` 0
CS_- 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 jBbc$|O4SY _guY%2%yR 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 :e;fs.C J4i0+u 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 sJWwkR ~-/AKaK} aXagiz\; e|P60cd / 7. 总结 PdZSXP4;k _?"J.i 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 {ex]_V> {PKER$C 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 T5h[{J^ b+>godTi_ 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 3'wBX g d -fJ._1 hGeRM4zVZZ QQ:2987619807 Fwr,e;Z
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