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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 lR3^&d72? 4}FfHgpQ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 i^KYZ4/%
#a l^Uqd 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 W"@lFUi
',%&D A2 要求工具箱：光栅工具箱 mR@Xt#
dz9-+C{m 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 LK5H~FK 8{<c qYCR 一、模拟任务： >Tx;<G 二、光栅的描述 Br!&Y9
1dO8[5uM7a 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 jYZWf `X~
!AHm+C_=Lg 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Z.(x|Q9
3%a37/|~y 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 jG :R\D}0
m~B=C>r}t 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” =*U24B*U93
PSE| 4{' 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 Q7 %#3ML
g_X7@D t 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 r8.v0b"1 Bb `^ ,?m DV" ri (RS:_] 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm A 6L}5#7- (Mh\!rMg z\5Nni/~6D 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm zl?N1>K S ]f~YeOB@ N8vl<
Mq 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm KJfyh=AD( ,;18: X>>rvlD N 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm uNg.y$ >CX S8,06/# }VRo: sJb 5. 参数运行 e8 .bH#
2ZeL 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 8msDJ {,X
0k 8SDRWU 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 uBgHtjmae )Cl&"bX 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 0]~n8m B> `-\ "p;Hp0 Hf iM]^ i=T/}c)
7. 总结 o*xEaD
0oMMJ6"i 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ;|y,bo@sJJ
$@j7VPE 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 BoqW;SG $9
;4IP7 $3G 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 IM/\t!*7 =I1@ O9}+i
H <yec" QQ：2987619807 {xX|5/z
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