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摘要 ]?(kaNQ"D c~(61Sn] 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 flPS+ Aeh# HU>>\t?d 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ^ELZ35=qZ <?B3^z$ 建模任务 l[i4\ CT 4\-11!'08 RWR{jM]V }
TUr96 单次FMM仿真结果 Q8`V0E\~ 3/]1m9x a^l)vh{+ /o4e
n 参数扫描(1D) H[.)&7M\ 9
3)fC @Pcgm"H< .Qrpz^wdt 参数扫描(2D) GPLop/6
D'!JV1Q R-m5( 8/>.g.] 文件信息 m
OUO)[6y i_N8)Z;r c#{|sR5 Ac U@H0 拓展阅读 8zHx$g s]99'Q", -Grating Order Analyzer `l]Lvk8O -Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction [z!m -crMO57/ QQ:1824712522
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