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摘要 I]UA0[8X :EaiM J_= 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 QZ9M{Y/ a#6,#Q" :'b%5/ ^q 8Y]}Gb! 1. 建模任务 | )S{(#k _/8y1)I zh
hGqz[K <X9T-b"$h 2. 结果 D)RdOldr Wpa$B
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uIr/ 3. 文件和技术信息 ?RqTbT@~ T=Ol`?5 lP-kZA! jm~mhAE# >dcqPNDg1^ VX:15705182053 q8tP29
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