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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 b*.)m 5 nf|CQH6? 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 :UFf6T?
| %zhwDQ. 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 _FAwW<S4B
=> -b?F0(c 要求工具箱：光栅工具箱 yHT}rRS8
"D@m/l 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 .8.ivfmJh VVCCPK^< 一、模拟任务： ~V5k 二、光栅的描述 <J`_Qc8C
dbnH#0i 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 AS4m227
;zz"95X7 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 `Gsh<.w!7
TpMfk7- 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Z <ke!H
Uc7X) 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” oHeo]<Fbv
:~6%n Fo 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 Nnv&~ D>
:(I)+;M }P 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 F(SeD)ml nJ2l$J< B%'Np7 mc9 $" 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm YXD1B`23 xB9^DURr\ ? &/9b)c S 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm
KJ'MK~g ;'p0"\SV #1m!,t C 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm qJISB7F[%O %NxNZe :4)mv4Q 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm )x Tp7YnZ; S0p]:r ";x r Ld,Izi 5. 参数运行 Y]P
$|JW):
17};I 7 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 a#G7pZX/I}
+{Q\B}3cj1 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 'OF)`5sj n,xK7icYNQ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果
<_42h|- fI}-?@ | mci-ZT 94K ;=5h 7. 总结 eb( =V *
#2u-L ~n 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 Uv% "45&7
CsuSg*#X+ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 [~jh Ov^
#yU4X\oO 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 uOougSBV, hi.{
@?gH3Y_ QQ：2987619807 XtQ3$0{*%
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