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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 {Tl |>\[P +VdC g_ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 r8Pdk/CW^
2nA/{W\ hC 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 OF/DI)j3
qGH\3g- 要求工具箱：光栅工具箱 pG0Ca](
iQj2aK Gs 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 +tSfx 0
$_0T 一、模拟任务： _7qGo7bpN 二、光栅的描述 l
d@ B
>p,FAz> 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 d-BUdIz
>UDb:N[ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 -&3mOn& (1
]v6s](CE 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 <oP"kh<D4
hm+,o_+ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” bX*c-r:
) /_T`cN 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 NP?hoqeKs
4kqgZtg. 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 (( T0zQ7= R; 2q=% \y Ne5 s_`=ugue 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm %\ef
Mhn xHo
iu$i6 =i:6&Y~VGq 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Fy'/8Yv#L k~+(X|!5w @&
vtY._ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm r|W 2I,P qJ8@A}}8 B[Gl}(E 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 3+`
<2TP nC;2wQ6aO p[Yja y+ 5. 参数运行 _T)G?iv:&
_xVtB1@kLM 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 '.8E _Jd0E
` e~nn 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 wf[B -2q) )1!jv! 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 /^F$cQX( O^W.5Sa R {vL4 :K X\dPQwasM 7. 总结 `*`@r o
q=H
dGv 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 28N
v '
A^9 RGz4= 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 P$=BmBq18`
V7\@g 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ?9)-?tZ^Q (E.,kc AJ
B9glPcy}SS QQ：2987619807 =Z aTD-%id
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