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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 qs\Cwn! ?Bq^#i |m 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ? [.8A/:5
8oI|Z= 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 x'\C'zeF
du ~V=%9 要求工具箱：光栅工具箱 S[7^#O.)
a}FY^4hl+ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Id`V`|q 5_](N$$ 一、模拟任务： `9^+KK " 二、光栅的描述 X=1o$:7
$mAC8a_Zu 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 \\13n 4fAv
9,JM$ Y
{ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 mj9sX^$ dE
Ua:@,}; 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 {Ak
4G L
n6t@ e^ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” <'UGYY\wg0
VoUo!t:(+ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 R ai
0 4
H"UJBO>$ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 YU8]W% g"|>^90 +a N8l1 Cy/VH"G= 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm *k8?$(
-8FUR~ WJ LWTPNp:"{w 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm >P@V D"U ^Y+C!I Xj{fM\,"9 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm F xm:m .1;UEb|T 2IM 31 . 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm :8oJG8WH 1d FuoX _ h#I}uJ~ 5. 参数运行 4P1}XYD-2
*@PM,tS; 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 AnX<\7bc}
M+VWAh#uD 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 yj_> G UQ0<sI= 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 *n EkbI/ ;9h ;oB@ 9-{=m+|b <nqv)g"u0 7. 总结 Kf BT'6t
(oX!D(OI 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 M :}u|
`q<W %'Tb$ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 aif;h!
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qT (6T P 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 bz#]>RD T{3nIF
7g"u)L&32 QQ：2987619807 kq5X<'MM9N
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