摘要 S^eem_C @PEFl" 在
半导体产业中,晶片检测
系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微
结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的
物镜,工作在紫外
波长范围。作为一个例子,
模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。
sD:o
2(G* nt#9j',6Rn U`%t&7) 建模任务 D\AVZ76F1 lh8QtPe wlT8| 结果 >u?.gJm ~ rm8Ys61\= QQM:[1;RT 结果 P>VoA Aqmpo3P[+ tWIs
|n 结果 2'DCB{Jv jYHn J}< ^#HaH 文件信息 >fH0>W+! >R+-mP!nj j
uA@"SG
Best wishes, {A/r) 行销部 17621763047(微信同号) ;xZ+1zmL0 --------------------------------------------------------------------- |ia5Mr"t 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 /jG?PZ=m 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 Q":_\inF Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 gV2vwe Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com )`DVPudiy --------------------------------------------------------------------- r5}p .
讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: Mg;pNK\n http://www.honglun-seminary.com/2018/ 'D+xs}\