摘要
Cu7{>" 3y)\dln 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
)9H5'Wh# }xsO^K {<yapBMw Et3]n$ 建模任务
D;+/bll7 tLu&3<% 7Bj,{9^aJ 光栅特性与参数的严格分析
Z8E<^<| vK!`#W`X 不同光栅周期下的衍射效率
u=0O3-\h %}@iz(*}> P3"R2- ,'
k?rQ 关于光栅周期选择的考虑
F;Q,cg M _r-LX" t9`{^<LH -K/+}4i3N 偏振相关的衍射特性
mn@1c4y vzSb( .\caRb[
YNBM\Q TipH} 8~(xi<"e bqbG+g *aCL/: 通过参数优化进行光栅设计
yX!fj\R 7wj2-BWa 固定周期的2D参数优化
Ql{#dcRx B''yW{ r(r(&NU 2D参数优化–设计1
TKnWhB/J &>qUT]w 5qrD~D' JwMRquQv 2D参数优化–设计2
9\ "\7S/Z GDLi?3q O=A R`r# u <%^/uS 制造
公差分析–设计2
U =J5lo Mqr]e#"o P3Ql[2 [ K? 变化光栅周期的3D参数优化
Ii+3yE@c ^8&}Nk[ j [r`KoHwdm 1]If<
< 制造公差分析
/<-PW9X? w>2lG3H< 4$R!) k^}[+IFJ 走进VirtualLab Fusion
/!ElAL
d~8U1}dP =b%f@x_U1 "]"0d[d VirtualLab Fusion中的工作流程
I<QUvs%e ]KuM's JA4Zg*7I p&Qb&nWk< •构造光栅
结构 Kyh6QA^ −
通过使用界面来配置光栅结构 \udB4O [用例]
}tt%J[ •分析光栅衍射效率
uL)MbM] −
光栅级次分析器[用例]
[6TI_U~ •使用参数运行搜索初始解决方案
tEL;,1 −
参数运行文档的使用[用例]
PSc=k0D •通过参数优化找到最终设计
6 :4GI 4PVg? VirtualLab Fusion技术
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