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摘要 UQl?_ [G
.WF"vUp 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 AFAg3/
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 FuHBzBoM= ';I} 6N 建模任务 l9.`2d]o d0aXA+S%
 P6gkbtg 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) E|@C :ghG
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 tV++QC7@L 7U [C=NL 沿Z轴的强度 $[T ~<I
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 D2ggFxqe (TeH)j! 走进VirtualLab Fusion ;j0.#P:a
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 Zo=,!@q( 4!!|P VirtualLab Fusion的工作流程 G@s:|oe e@hPb$7 构建光栅结构 (
fFrX_K] - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ~A0AB
`7 - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ?qQ{]_q1&. xU\!UVQ/ 通过参数运行计算不同位置的强度 amsl>wc! - 参数运行文件的使用 [用例] * JOK8[Qn "5JMk
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 #c|l|Xvq2 oCo~,~kTR 文件信息 0hS&4nW
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 IQBL;=.J. LsR<r1KDJ 延伸阅读 v8-szW).
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片 hTBJ\1
- - 光栅级次分析器 % 3#g- - Talbot效应的建模 1^k}GXsWmE yK{ P%oh)
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