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    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 n-%s8aaVf  
     {\(L%\sV@  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 %%4t~XC#  
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    建模任务 IEzaK  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) *;fw%PW  
     (t4&,W_spA  
    某一位置的Talbot图样 /IM#.v  
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    某一位置的Talbot图样 $t6e2=7  
    R>(@Z M&  
     ?G -e](]^<  
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    不同位置的Talbot图样 7=DjI ~  
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    不同位置的Talbot图样 dtc IC0:[  
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    沿Z轴的强度 >J>b>SU=-  
    q2et|QCru  
     th&[Nt7  
    :M6+p'`j  
    走进VirtualLab Fusion n8D xB@DI  
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     Y14W?|KOB  
    _`pD`7:aI^  
    VirtualLab Fusion的工作流程 w18y}mS"H  
     ,qYJioWX  
     构建光栅结构 LK@lpkX  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] %Pqf{*d8  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] f0BdXsV#g  
    *Otg*, \  
     通过参数运行计算不同位置的强度 S!sqbLrBn  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Vl2XDkhq  
    \R3H+W  
    mb!9&&2 -t  
    r{rQu-|.  
    VirtualLab Fusion技术 ^*fxR]Y  
    V.{H9n]IO  
     rrCNo^W1  
       37RLE1Yf  
    文件信息 ($~RoQ=0S  
    H8'Z#"h  
     eVM/uDD  
    {je-I9%OK  
    延伸阅读 g{P%s'%*  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     &zuG81F6  
    - 光栅级次分析器 Kk{<@v)  
    - Talbot效应的建模 +a*^{l}AST  
    jr3ti>,xV  
     ?K3(D;5 &i  
    有什么问题可以添加微信~ leQT-l2Bk  
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