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    [分享]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-06
    摘要 c^ W \0  
    V m]u-R`{  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 QNxY`  
    MwO`DrV  
    &+Yoob]P  
    概述 344E4F"ph  
    fiZq C?(  
    j=y{ey7Fd  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 ;^9y#muk  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 U%H6jVE  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 &N|`Q (QXS  
    !r %u@[(  
    >8=rD  
    WwAvR5jq  
    衍射级次的效率和偏振
    *di}rQHm  
    4elA<<  
    \+VQoB/  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 N5jJ,iz  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 1`v$R0 `!  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 ,l7',@6Y  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 / &#b*46  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 1/<Z6 ?U  
    rLx'.:  
    " 'TEBkj|u  
    光栅结构参数 .g52p+Z#  
    cd:VFjT  
    Vk?US&1q}  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 o7 1f<&1  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 E-"b":@:  
    •因此,选择以下光栅参数: B~7]x;8h  
    - 光栅周期:250 nm z%44@TP  
    - 填充系数:0.5 `z~L0h  
    - 光栅高度:200 nm $@@@</VbP  
    - 材料n1:熔融石英 ;b;Bl:%?  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) ]Yx&  
    <) VNEy'  
    :<i<\TH'  
    se`^g ,]P  
    偏振状态分析 j V~+=(w)  
    )F65sV{  
    u]jvXPE6  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 <jIuVX  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 9MUg/  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 Bl/Z _@  
    FN"Ye*d  
    ^Q5advxuq  
    }^]TUe@a  
    产生的极化状态 WI\jm&H r  
    NZ:KJ8ea"  
    7O\Qxc\  
    ">x"BP  
    H rI(uZ]  
    其他例子 @nxpcHj  
    `!lQd}W  
    VkZ3Q7d  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 )UN_,'H/V  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 +!eh\.u|]  
    eh}I?:(a?  
    c%5Suu( J6  
    ` 3h,Cy^  
    光栅结构参数 , ^@z;xF  
    Bz4;R9_%I  
    ]qO*(m:}o  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ]@ N::!m  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 IyoitIbLl  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 "V{v*Aei0  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 2*TPW  
    H-jxH,mJmW  
    <Xb$YB-c  
    光栅#1 cd]def[d  
    *Z2#U ?_  
    @H61^K<  
    CM4#Nn=i~  
    rHJtNN8$k  
    •仅考虑此光栅。 [BuAJ930#5  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 6@-O#,]J  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 b0uWUI(=  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 YWhp4`m  
    uL |O<  
    ASUL g{  
    假设光栅参数: sPRo=LB  
    •光栅周期:250 nm j71RlS73  
    •光栅高度:660 nm n |Q' >  
    •填充系数:0.75(底部) g [c ^7  
    •侧壁角度:±6° "J>8ZUP  
    •n1:1.46 `Tc"a_p9t  
    •n2:2.08 .wf$]oQQ  
    C(&3L[  
    光栅#1结果 e|eWV{Dsz  
    ~qkn1N%'  
    2k+u_tj>  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 k FCdGl  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 FZx.Yuv  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    UAOH9*9*  
    *&tv(+P  
    )M_|r2dDq3  
    .05x=28n%  
    光栅#2 J Mm'JK?  
    D| g{]nO  
    dyVfDF  
    )}1S `*J/O  
    #PQhgli  
    •同样,只考虑此光栅。 b] ~  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 E^? 3P'%^  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 xP $\ }  
    假设光栅参数: S=qx,<J 39  
    •光栅周期:250 nm {!xDJnF;  
    •光栅高度:490 nm pZ5eGA=  
    •填充因子:0.5 U(5Yg  
    •n1:1.46 FQM9>l@6)>  
    •n2:2.08
    lK3{~ \J-  
     >f*Zf(F  
    光栅#2结果 t)hi j&wzu  
    !#dp [,nk  
    VF:95F;@  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 + I4s0  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 6"/4@?  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 oa6&?4K?F  
    z4 KKt&  
    ]K|td)1X  
    文件信息 xM**n3SZ`  
     I}u&iV`  
    <ToRPx&E  
    oW3|b2D  
    Dr5AJ`y9A  
    QQ:2987619807 > *soc!#Y  
     
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