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摘要 yb-4[C:i ,=[r6k< 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 Ih[k{p or"9I1o im9Pj b% Q$5%9 本用例展示了...... P=a&>i •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: "g/UpnH - 矩形光栅界面 &{bNa:@ - 过渡点列表界面 iM$iZ;Tp - 锯齿光栅界面 }%c0EY' - 正弦光栅界面 5'[yw:P-8 •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 4m%Yck{R {rzQ[_)EC 光栅工具箱初始化 sRQ4pnnrn •初始化 KvjH\;78 - 开始 59(kk; 光栅 R8Dn
GR 通用光栅光路图 !{ !(yP_ •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, _`Dz%(c 可直接选择特定的光路图。 yQq|!'MK k CQA^"Ll \Hu?K\SWs D7Ds*X`!l 光栅结构设置 !>fi3#Fi •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 V$ho9gQ!l[
r@Xh8
r; •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 N.vkM`Z •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 L>rW S-
KcM+8W\
=kw6<!R u"(2Xer •例如,选择第一个界面上的堆栈。 :eBp`dmn LbnF8tj}h 堆栈编辑器 ~g *`E!2 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 @9g!5dcT •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 rUmnv%qTS (`d _DQ ;n b>IL 3ZqtIQY` 矩形光栅界面 OKCX>'j:S ROj=XM:+ •一种可能的界面是矩形光栅界面。 _2eL3xXha. •此类界面适用于简单二元结构的配置。 [[Usrbf •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 _p| KaT`` •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 &.:yP3 •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 .-:6L2 ^Y^5 @x= P,n:u'Iwy !e0/1 j= 矩形光栅界面 {N0ky=ud •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 LESF*rh= •所选界面在视图中以红色突出显示。 tUs{/Je ]K%D$x{+\ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 Y0nuwX*{ •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 g%d&>y?1r Xqas[:)7+ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 |y2cI,& •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 ?Tk4Vt •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 CYC6:g|) WR>2t&;E Xu\2 2/Co 'p(I!]"uo @0rwvyE=+3 U_e e3KKA 矩形光栅界面参数 w5}2$r •矩形光栅界面由以下参数定义 %LZf=`:( - 狭缝宽度(绝对或相对) \J^|H@;(@ - 光栅周期 [es-&X07< - 调制深度 UjQi9ELoJ •可以选择设置横向移位和旋转。 `!g
XA.9Uv agW#"9]WM 3mM.#2=@> Ci^tP~)&" 高级选项和信息 '^.}5be& •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 c95{Xy •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 lr@H4EJ{ •可以设置总级次数或衰逝波级次数 8fs::}0 (evanescent orders)。 GGchNt •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 6995r% •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 REwZ41
%O3 r>o= o*WI*Fb' qbe9 CF'@_ •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 ni x1_Wo; •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 \muC_9ke •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 c{t(),nAA •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 D>Ph))QI ssC5YtF7X /h'b,iYVV G|Y9F|.! 过渡点列表界面 Bx32pY •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 FucLcq2Z •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 qZ7/d,w •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 vMOit,{ !]k $a `&yUU2W 过渡点列表参数 K)"cwk- •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 5:H9B •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 r:Xui- xd H*[ +}@HtjM If_S_A c •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 >2l;KVm% •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 =N zA2td •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 h4^
a#%$ O5Xu(q5+ }]H_|V*f |0mVK` 高级选项及信息 kEE8cW3 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 }GCt)i_ \5_7!. ymBevL QpPJ99B| 正弦光栅界面 Osdw\NNH~M •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 (SLAq$gvd •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 8]N+V: •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: TK;*:K8oe - 脊的材料:基板的材料 Nd~?kZZu - 凹槽材料:光栅前面的材料 (Ia} ]q & ;+u.X j#b?P=|l mlY0G w_e 正弦光栅界面参数 !\H!9FR - 正弦光栅界面也由以下参数定义: +QIM~tt) •光栅周期 EIwTx:{F •调制深度 bO:Ei - 可以选择设置横向移位和旋转。 g`!:7|&,_ - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 H85HL-{ _{o=I?+] 31y=Ar"" *Ri?mEv
hF 高级选项和信息 .Mw'P\GtM •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 ho_;;y 9LGJ -gL 9
I> 3p4] -tSWYp{ 高级选项及信息 !p1OBS| •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 02} &h oQ 5g0(J~ J56+eC( 锯齿光栅界面 IEdC
_6G •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 l,*v/95h •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 u7&r'rZ1_! •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: X|H%jdta - 脊的材料:基板的材料 Mu18s} - 凹槽材料:光栅前面的材料 F9ry?g=h Uq&ne1 uRKCvsi sX bv>;%TF 锯齿光栅界面参数 UHz*Tfjb •锯齿光栅界面也由以下参数定义: EW1L!3K - 光栅周期 3KfZI&g - 调制深度 > >wbyj8 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 zGu(y@o •可以选择设置横向移位和旋转。 fEdQR-> •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 *L/_ v 'bkecC J
/'woc BN@*CG 高级选项和信息 tuK"}HepB •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 O%A:2Y79 X(1nAeQ 探测器位置的注释 h/`OG>./ 关于探测器位置的注释 M'W@K •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 QR'"Zw&q5/ •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 U}6'_ PRQ •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 B @UaaWh •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 FgNO# % •可以避免这些干涉效应的不良影响。 FJv=5L PX[taDN 09 eS&J<R 文件信息 =XJ
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