-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-05-27
- 在线时间1266小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 Tk\?$n jrJ!A(<) 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 R~TzZ(Ah] X`
r~cc YGFE(t;lPU 建模任务 v/gxQy+l ^Y[.-MJt+ 90<z*j$EK 结果 }rK9M$2]u T rK-XTev 3msb"|DG 结果 *f<+yF{=A Z'=:Bo{ c"F3[mrff 结果 ~nLE?>x|Z O\0]o! L{PH8Xl_ 文件信息 gkkT<hEV= p6P .I8g xb8S)zO]Q
QQ:2987619807
|