该案例介绍了一个正弦光栅的仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。 5q"ON)x /c):}PJ^#7 1. 建模任务 tH'2gl
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o:V|:*1Q 一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化。 )E+'*e{cK 对于该仿真,采用傅里叶模态法。 43V}#DA@
wgd /(8d 2. 建模任务:正弦光栅 :x_'i_w A<;SnXm x-z方向(截面视图) 3]?#he s`>[F@N7.o B:7mpSnEQ 光栅参数: }B~If}7 周期:0.908um imiR/V>N 高度:1.15um ZoArQ(YFy (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) +VQ\mA59
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3. 建模任务 !Ra*)b"
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VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 LY-2sa#B$-
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利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 >ooZj9:'
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4. 光滑结构的分析 |g*XK6
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计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 rb{P :MX
对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% [|l?2j\
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5. 增加一个粗糙表面 yeHDa+}
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V <bd;m VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 Qqlup 因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 RVeEkv[qp `Qqk<o zhf.NCSt( <vwkjCA` gJM`[x`T 8n>9;D5n 该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。
`:axzCrCfR 第一个重要的
物理参数称为”最小特征尺寸”。
Zv#Ll@v 第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。
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a
h 5<w g8y 6. 对衍射级次效率的影响 )&!&AlLn :^(>YAyHj^ P+$:(I 粗糙度参数:
AFAAuFE" 最小特征尺寸:20nm
&iV,W4 总的调制高度:200nm
p}cw{ 高度轮廓
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