示例.0082(1.0)
y?<KN0j Qn!mS[l 关键词:
光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸
_B0(1(M<2 Q 7_5 1. 描述
!!y]pMjJa@ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
LjI`$r.B ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
\Oeo"| ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
QrYF Lh Wo1xZZ 2. 系统
M^o_='\bE f+h\RE=BGt 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
q>$MqKWM 3. 透镜系统组件编辑
%F;BL8d bv[#|^/ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。
s@F&N9oh ■ 透镜系统是由序列
光学表面(OIS)定义的。
]vvYPRV76 ■ 每一个可选项都有独立的
参数,并可以设定。
}/cReX,so ■ 包括序列光学表面和光学介质。
=,6H2ew &lQ%;)' 4. 光线追迹系统分析器-选项
y{%0[x*N<m D.K""*ula NKu[6J?) ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
MCKN.f%lP ■ 可以选择选取光线的方法:
7n7Xyb — 在x-y-网格
jRJG .hcB5 — 六边形
YB 38K( — 自由选取
xyp{_ MZ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
&93{>caf+ *N">93: 5. 系统的3维视图
_U s" p
F-Lz<V Z0,jg)sA4
6. 其他系统参数
V8^la'_j ■ 系统由单色平面波
照明 ABWn49c. ■ 照明波长266.08nm
EoAr}fI ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能:
+\eJxyO — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
0*gvHVd/l — 一个虚拟屏位于焦平面
D:z'`v0j —
光束尺寸探测器置于焦平面
)?F&`+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
!eW1d0n'+f +fP.Ewi 7. 光线追迹系统分析器的结果
;TAj;Tf]H ;4nY{)bD 光线经过整个光学系统的三维视图
p*;!5;OUR 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
!oWB5x~:P 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
,mHME~ Ykxk`SJ 6'^_*n ■ VirtualLab可用于计算点列图。
(95|DCL ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
YX$(Sc3.6 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Gv-VDRS ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
xl&@g)Jj O^L]2BVC 9. 焦平面上的结果
1G>Ud6(3< 1oQw)X D=e*rrL7a ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
2W,9HSu8 ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。
gv*b`cl ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
)w7vE\n3 ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。
q$:1Xkl ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
]
ZV[}7I. CMj =4e 10. 总结
+A}t_u3< ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
+_5*4>MC ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。
lw@Yn>eza ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
aU!}j'5Q ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
s scbf Q((&Q?Vi (来源:讯技光电)