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案例024(3.0) 3jQ$72_ t3kh]2t 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 2LK*Cv[ `[R:L.H1 1. 建模任务1:金属光栅 XcW3IO o3`gx w[7HY@[ 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 !N2 n@bo 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 Pxuz { qv >( 2. 建模任务2:介质光栅 nT6iS}h Kh_>V m/ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 :=fHPT 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 o ML
K!]a t@mw f3, 3. 建模任务 <UHf7:0V K0bmU(Xxp =(uy':Dbn* VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 z[I/ AORl 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 sjbC~Te-- 场分布计算能够检测结构内部的热点 |zegnq~ UVi/Be#| 4. TE和TM照明线性光栅 %y~]3XWik yH0ZSv 5. 铬狭缝的分析 Bc`A]U "h|0]y^2 -|UX}t* 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 [UrS%]OSR 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 :'Kx?Es 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 UmMYe4LQR 红线说明了结构的形状(手动添加) )Syf5I "U~@o4u; 6. 三角光栅的分析 Jywz27j 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 |L#r)$n{1 'wHkE/83 B$eF@v" 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 GOgT(.5 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 6>^k9cJp 红线说明了结构的形状(手动添加)。 P_Ja?)GT 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 Ol^EQLO icbYfgQ 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 8-#2?= 红线说明了结构的形状(手动添加)。 mhSsOmJ5 Uv$u\D+@[ 7. 总结 Dy'l]vN$ 9E*K44L/V VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 AMiFsgBj 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 |1 6v4 R 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 F#R\Ot,hv 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 zIm!8a
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