示例.0082(1.0)
yN VuSj ~_v?M%5i 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
7Yp;B:5@ tX)l$oRPr 1. 描述
JEq0 {_7 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
= Ly7H7Q2 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
\,jrug<C$^ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
hM |/K+tH 2. 系统
oK1"8k|Z - '& 4No 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
7e $\|~< 3. 透镜系统组件编辑
fRKO> /OT ud xLHs ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
*xB9~ : ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
MK"PCE5^i6 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
Qp8. D4^@3 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
IxC/X5Mp^q 8`E9a 4. 光线追迹系统分析器-选项
c`~aiC`l R~u0! 5
OR L ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
oL0Q%_9hW ■ 可以选择选取光线的方法：
jG =*\lK6 — 在x-y-网格
pjr,X+6o — 六边形
UEm NT9 V — 自由选取
mlCw(i, ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
^L}fj$
}Y\A yl 5. 系统的3维视图
fhqc[@Y[ \.p{~ Hv 
s>`$]6wPa 6. 其他系统参数
C$`z23E ■ 系统由单色平面波
照明 Ys,} L. ■ 照明波长266.08nm
/zZ$<mVG ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
.um]1_= \ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
lO},fM2j — 一个虚拟屏位于焦平面
krw Y_$q —
光束尺寸探测器置于焦平面
%Y8#I3jVJ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
~5$V8yfx h yv| |:wZC 7. 光线追迹系统分析器的结果
h,B ]5Of Z\8TpwD2 光线经过整个光学系统的三维视图
!fF1tW 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
F-Mf~+= Dn 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
H&\Ig D s hjb b N}x \Ll ■ VirtualLab可用于计算点列图。
m@o/ W ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
xvP<~N- ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
WP&P#ju& ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
@$'k1f(u> [FLRrTcE 9. 焦平面上的结果
"l~wzPY) -;=0dfC( @dE|UZ=( ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
(UWP=L1 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
v3
4!rL ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
cE[B
(e ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
@? 4- ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
oLVy?M%{P y
BF3Lms 10. 总结
W6f?/{Oo8 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
x, YC/J ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
& UH .e ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
u
'-4hU ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
=*0<.Lo': V 9Bi2\s* （来源：讯技光电）
