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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 hSm?Z!+ `eM ZhY o 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 7GOBb |
8Yh'/,o=L# 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 bzFac5n)Q
5vyg-' 要求工具箱：光栅工具箱 ^OKm (
h m RmU{(Y 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 &DWSf`:Hx o8R_ Ojh 一、模拟任务： = LNU%0m 二、光栅的描述 Rn~'S2`u
;k!.ey $S 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 #<xFO^TB
&<N8d(
2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 , `bW (V
~JT`q: l-q 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 #yochxF_
@P7'MiP]K 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” < D.E .^Y
^3dc#5]Xf 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 1eD#-tzV
AkQ(V 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 , Vi_~b nK;d\DO !, BJO3& :^]Po$fl 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 3+Lwtb}XPF peVY2\1>R AwZ@)0W y 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm |Hyc BTN#E 5 nx*D" a fa\6]m 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Pa aMh[OmG D`p2a eI ww{k_'RRJ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm LA6XTgcu 4mDHAR%D CH4Nz'X2 5. 参数运行 -dM~3 '
(2;Aqx5i 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ]Ozz"4Z
%$& eC 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 K6->{!8]k vFe=AY<Rt| 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 >Lcu DghyE` 1'hpg>U WfO E I1 7. 总结 K}cZK
:$G ^TD/n 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 . V!5Ui<
fQ 9af)d 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 < dE7+w
GG#-x$jK 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 .u A
O.< #X)DFAtb
`lY-/Ty QQ：2987619807 /uWUQ#9
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