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成像系统>包括光栅 $HFimU,V=0 7)l+h Z 任务/系统说明 +^ |= M K% XWf1c ~J  A04E <nr RjGJfN { 亮点 zdN(r<m9"
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 RJ$x{$r[ !<4 =@ 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） H>|*D~RdT 严格分析光栅衍射效率 '/<f'R^ 考虑入射光的方向分布 b|u0a 6 `SG 8w_ 说明：光源 $6*6%T5} /"7_75
t  !mu1e=bY> w72\' 说明：光束分束器 ^:^8M4: @cu#rWiG  XWag+ K #R*7y% cO 说明：检测透镜系统 e&-MP;kgW9 {wvBs87  JiFB<Q\ ^ 5rB/y, 说明：微型晶片 EHk$,bM tui5?\  UT_kw}1o |./{,", 说明：检测物镜 o^v]d7I8b l- $5CO  ] ]XXcQ,A YT}ZLx 说明：探测器 i'p6# xiOAj"}~  <kKuis6h {JQCfs 结果：3D光线追迹（只有0级） k|`Qk!tr }h1y^fuGi  $V,ZH*
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lUd4`r" 文档和技术信息 8Y [4J XUK l~mj>$
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