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摘要 Sqed* Pz,kSxe= 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ?_%*{]mt( ~k/'_1)c R^iF^IB 2oXsPrtZ 设计任务 gGxgU$`#c ZF_*h`B
DxdiXf[j WogJ~N,d53 KqG:o+V= 光栅特性与参数的严格分析 a9j
f7r1 #Q.A)5_ 不同光栅周期的衍射效率 -8- \EuMzb"G9p 3V?JX5X\ &p8b4y_ 考虑光栅周期的选择 3Wa^:8N `Xc~'zG )[|TxXz
d 偏振相关衍射特性 qZ'&zB) gtHWd;1&f dT4?8: ]R32dI8N 偏振相关衍射特性 z|^:1ov, %D< =6suW >'iXwe- \XFF( 偏振相关衍射特性 X`/8fag >B<jR$`6@ @d:TAwOI' "_WOtJr 基于参数优化的光栅设计 J.W0F# ? PN:/lIO 具有固定周期的二维参数优化 [~m@'/ Hphvsre< %ZF47P%6 二维参数优化 - 设计#1 v^1_'PAXu KV0M^B|W Aj((tMJNOw lK;|ciq"c7 二维参数优化 - 设计#2 \B/+.\ fQ33J> 141@$mMzE P&@ 2DI3m 制造公差分析 - 设计#2 !LB#K?I {Z%4Pg LI1OocY.] d#xi_L! 不同光栅周期的三维参数优化 5V5Nx(31i aqJ>l}{ Mhp6,JL d+[GMIxg 制造公差分析 gg
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