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摘要 "lh4Vg\7n L|CdTRgRCB 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 <fvu)
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.G{cx=; .q9Sg8G V~*Gk! +f 设计任务 |]?f6^|4 lL)f-8DX %R0 Wq4} >3!~U.AA'x 1级参数优化 $6rm;UH *D?=Ts ihrf/b yYP_TuNa 结果-容差分析 s2O()u- A8'RM F1 N%dY.Fk q\EYsN</; 结果-容差分析 1K Fd
~U LCorT- Ib..X&N2 !85bpQ. VirtualLab Fusion一瞥 MQoA\ g04^M( *yhA8fJ JwSF}kNs} VirtualLab Fusion中的工作流程 EF)BezG5y xX<f4H\' 构建光栅结构 W.j^L; −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] }4C_r'd6 −倾斜光栅高级设定[用例] #[prG •光栅衍射效率分析 dA)T> −光栅阶序分析器[用例] \?n6l7*t> •使用参数优化进行光栅参数优化 [MIgQ.n •使用参数运行的容差分析 2IB{FO/ <x}wy+SG ; J W]b] xS|9Gk VirtualLab Fusion技术 8_%GH}{ jEBn"]\D '[$KG M/o?D <' 文件信息 IBa0O|*6 P]Fb0X |Hf|N$ :!aLa}`@ 8jz>^.-o QQ:2987619807 u"0{)
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