切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 光学手册（上、下册，李景镇） 光学元件微纳制造与精密检测技术 京东6.18购物红包，每天领三次！ 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 740阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    技术专家
     
    发帖
    4709
    光币
    17921
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 wW1\{<hgr  
    25-h5$s  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Y$\|rD^f  
    ow{.iv\,u  
    $HsNV6  
     ocJG4#  
    建模任务 )Hmf=eoc  
    ,NS*`F[O  
    j]<K%lwp  
    概述 kDWEgnXK,v  
    G%t>Ll``C  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 j;Z?q%M{6  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 `HkNO@N[  
    yG/!K uA  
     -|KZOea  
    ,r;xH}tbi  
    光线追迹仿真 'u;O2$  
    &k%>u[Bo  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 l[ $bn!_ e  
    •单击go！ ?`rAO#1  
    •获得了3D光线追迹结果。 ">z3i`#C'  
    jJNCNH*0  
     35e{{Gn)v  
    ^zQI_ydG  
    光线追迹仿真 yvoz 3_!  
    o5?Y   
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 II}M|qHaK  
    •单击go！ s) shq3O  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 >VkBQM-%  
    X]D,kKasG  
     R8Vf6]s_  
    pcwYgq#5  
    场追迹仿真 %8tE*3iUF  
    > ]^'h  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0zB[seyE  
    •单击go！ </`\3t  
    SI+Uq(k  
    ")STB8kQ  
     jTcv&`fAz  
    场追迹仿真（相机探测器） (;},~( 2B  
    A,cXN1V  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Y -a   
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 h7UNmwj  
    HT.*r6Y>g  
     MkPQ@so  
    &b tI#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =zcvR {Dkp  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3>aEP5  
    XAU%B-l:  
    g=56|G7n  
     8'8`xu$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） nm,LKS7  
     ujX; wGje  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Km8aHc]O~  
    T+F]hv'  
     Tn#Co$<  
    $ItjVc@U  
    文件信息 Ww2@!ng  
    Z_\p8@3aH  
     1*TbgxS~W  
    <ukBAux,D  
     E=p+z"Ui  
    QQ：2987619807 \:WWrY8&  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表